GD-K71D型 智能型半导体生产气体检测
特点
能快速更换吸气泵和传感器；
LED数字显示气体浓度数值
高亮度的LED能保证在黑暗处也清晰可见
校正数据和其他传感器信息存储在传感器的内存中
提供报警迹象趋势图
微处理器提供了自动诊断功能
两级报警，故障报警和接点信号输出
4-20 mA及流量低下报告输出
可通过PC机进行遥测维修
自动调整流量
规格
| 检测原理 | 电化学电池原理 |
| 检测原理 | 电化学电池原理 |
| 检测气体 | 参见下表 |
| 检测方法 | 泵吸式 |
| 传送方式 | 模拟信号传输4-20mA |
| 气体浓度显示 | 4位数字LED显示 |
| 反应时间 | 气体浓度超过1.6倍报警设定值时延迟约10-15秒 |
| 使用温度/湿度 | 0℃~~+40℃,低于38~~85%RH |
| 使用电源 | DC24V±10%（最大功耗10W） |
| 使用电缆 | 3芯，1.25sq屏蔽电缆 |
| 尺寸.重量 | 153(长)×170(高)×70(宽)mm 约2Kg |
检测气体名称（部份）
| 检测气体 | 检测范围 | 报警设定值（可调） |
| 磷烷 PH3 | 0~1 ppm | 0.3 ppm |
| 四氢化硅 SiH4 | 0~15 ppm | 5 ppm |
| 氯化气HCL | 0~15 ppm | 5 ppm |
| 氟化氢HF | 0~9 ppm | 3 ppm |
| 氯 气(Cl2) | 0~1.5 ppm | 0.5 ppm |
| 乙硼烷 B2H6 | 0~0.3 ppm | 0.1 ppm |
| 硒化氢 H2Se | 0~1 ppm | 0.3 ppm |
| 乙硅烷Si2H6 | 0~15 ppm | 5 ppm |
| 四氯化硅SiCL4 | 0~15 ppm | 5 ppm |
